1、硅，这是目前最主要的集成电路材料，绝大部分的IC是采用这种材料制成；
2、锗硅，目前最流行的化合物材料之一，GHz的混合信号电路很多采用这种材料；
3、GaAs，最广泛采用的二代半导体，主要用于射频领域，包括射频控制器件和射频功率器件；
4、SiC，InP，所谓的三代半导体，前者在射频功率领域，后者在超高速数字领域，都属于下一代半导体材料。
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